産品簡介(jiè)：
FS4001系列小流量氣(qì)體質量流量傳(chuan)感器
是專門爲(wei)各類小流量氣(qì)體的測量和過(guo)程控制而設計(ji)的👉。這一系列傳(chuan)感器均采用本(běn)公司自主研發(fa)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片(pian)來制作，适用于(yú)各類清潔氣體(ti)。*的封裝技術使(shi)之可用于各類(lèi)管徑，成本低、易(yì)安裝、不需要溫(wen)👌度壓力補🈲償，可(kě)替代容積式或(huo)壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
産(chǎn)品特點
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FS4001系(xì)列小流量氣體(ti)質量流量傳感(gǎn)器
靈敏度高,有(you)小的始動流量(liàng)傳感器芯片采(cǎi)用熱質量✨流量(liang)❌計量,無需溫度(du)壓力補償,保證(zhèng)了傳感器的高(gao)精👨❤️👨度計量在單(dan)個芯片上實現(xian)了多傳感器集(jí)成,使傳感器的(de)量程比大大提(tí)高傳感器⛷️的零(líng)點穩定度高全(quan)量程高穩定性(xìng)全量程㊙️高精确(que)度和優良的重(zhong)複性低功耗低(dī)壓損響應時間(jian)快
主要參數：
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性(xing)能參數
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FS4001
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單位
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通(tong) 徑
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1.0
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1.8
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mm
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大流量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SCCM
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量程(cheng)比
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≥100:1
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精 度
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重複性(xìng)
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0.25
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%讀數
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零點輸出(chu)飄移
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±30
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mV
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輸出飄移(yi)
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±0.12
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%/oC
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響應時間
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作(zuo)電源
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8~18Vdc,50mA
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輸出方式(shi)
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線性，RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
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大流量壓損
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350
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300
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pa
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大(dà)工作壓力
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0.5
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MPa
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工作(zuò)溫度
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-10 ~ +55
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oC
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存儲溫度(dù)
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-20 ~ +65
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oC
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工作濕度
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<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
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機械(xiè)接口
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可拆式軟(ruǎn)管接頭
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校準方(fang)式
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空氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
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重量
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15
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g
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機械(xie)尺寸：
