産品簡(jiǎn)介:
FS4001系列(liè)
氣體流(liú)量監測(cè)傳感器(qì)
是(shì)專門爲(wèi)各類小(xiao)流量氣(qì)體的測(cè)量和過(guò)程控制(zhi)而🥰設✍️計(jì)的。這一(yi)系列傳(chuan)感器均(jun)采用本(běn)公司自(zì)主研發(fā)的微機(jī)電系統(tong)🈲(
MEMS
)流(liú)量傳感(gǎn)芯片來(lai)制作。
FS4001系(xi)列
氣體(ti)流量監(jiān)測傳感(gǎn)器
适用于(yú)各類清(qing)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuāng)技術使(shǐ)之可用(yòng)于各類(lèi)管徑👣,成(cheng)本低、易(yi)安裝、不(bú)需要溫(wen)度壓力(lì)補償,可(kě)替代容(rong)積式☔或(huo)壓差式(shì)的傳統(tǒng)流量傳(chuan)感器。
産品特(tè)點:
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傳感器(qì)靈敏度(dù)高
,
有極小(xiǎo)的始動(dong)流量
-
傳感(gan)器芯片(pian)采用熱(rè)質量流(liu)量計量(liang)
,
無(wu)需溫度(dù)壓力補(bǔ)償
,
保證了(le)傳
-
感器的(de)高精度(du)計量
-
在單(dān)個芯片(piàn)上實現(xiàn)了多傳(chuan)感器集(jí)成
,
使傳感(gan)器的量(liang)程比大(dà)大提高(gāo)
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傳(chuán)感器的(de)零點穩(wen)定度高(gao)
-
全(quan)量程高(gāo)穩定性(xing)
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全(quan)量程高(gao)精确度(dù)和優良(liang)的重複(fu)性
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低功耗(hào)
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低(di)壓損
-
響應(ying)時間快(kuai)
機(jī)械尺寸(cun):
主要(yao)參數:
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性(xìng)能參數(shu)
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FS4001
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單位
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通(tong) 徑
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1.0
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1.8
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mm
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大流(liu)量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SLPM
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量程(chéng)比
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>100:1
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精 度(du)
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重複性(xing)
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0.25
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%讀數
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零(líng)點輸出(chu)飄移
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±30
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mV
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輸(shū)出飄移(yi)
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±0.12
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%/oC
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響應時(shi)間
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作(zuo)電源
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8~18Vdc,50mA
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輸(shū)出方式(shi)
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線性,RS232/模(mó)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
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大流量(liàng)壓損
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350
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300
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pa
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大(dà)工作壓(yā)力
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0.5
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MPa
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工作(zuo)溫度
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-10 ~ +55
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oC
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存(cun)儲溫度(du)
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-20 ~ +65
|
oC
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工作濕(shi)度
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<95%RH(無結(jie)冰、無凝(ning)露)
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機械(xiè)接口
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可(kě)拆式軟(ruǎn)管接頭(tóu)
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校準方(fang)式
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空氣(qi)(或其他(ta)氣體),20oC,101.325kPa
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重(zhong)量
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15
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g
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