産品展示
PRODUCT DISPLAY
産品時間：2025-12-01
FS4001系列實驗室(shì)氣體流量傳感器(qì)适用于各類清潔(jié)氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類(lei)管徑，成本低、易安(ān)裝、不需要溫度🐅壓(ya)力補償，可替代容(róng)積式或壓差式的(de)傳統流量傳感器(qi)。
産品(pǐn)簡介：
FS4001系列實驗室(shi)氣體流量傳感器(qì) 是專門爲各(ge)類小流量氣體的(de)測量和過程控制(zhì)而設🛀計的。這一♍系(xi)列傳感器均采用(yòng)本公司自主研發(fa)的微機電系統☔（ MEMS ）流量傳感芯片(piàn)來制作。
FS4001系列實驗(yan)室氣體流量傳感(gan)器
産品特點：
傳(chuán)感器靈敏度高
,
有極小的始動(dòng)流量
-
傳感器(qi)芯片采用熱質量(liang)流量計量
無(wu)需溫度壓力補償(chang)
保證了傳
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在單個(gè)芯片上實現了多(duō)傳感器集成
使傳感器的量程(cheng)比大大提高
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傳感器的零點穩(wen)定度高
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低壓損
響應(yīng)時間快
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性能參數(shu) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
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1.8 |
mm |
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大流量(liang) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100：1 |
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精 度 |
% |
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0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
%/oC |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
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300 |
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大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工(gong)作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無結冰(bing)、無凝露） |
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空氣（或(huo)其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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