産品(pin)時間:2025-12-01
FS4001系列測(cè)量氣體(tǐ)流量傳(chuan)感器是(shi)專門爲(wèi)各類小(xiǎo)流量氣(qi)體的測(cè)量㊙️和過(guò)程控制(zhi)而設計(ji)的。這一(yī)系列傳(chuán)感器均(jun)采用本(ben)公司自(zi)主研發(fa)的微機(ji)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳(chuan)感芯片(piàn)來制作(zuo),适用于(yú)各類清(qīng)潔氣體(ti)。
簡介:
FS4001系(xì)列測量(liàng)氣體流(liu)量傳感(gǎn)器 是專門(mén)爲各類(lèi)小流量(liang)氣體的(de)測量和(hé)過程控(kòng)制而設(shè)計㊙️的♌。這(zhe)一💯系列(liè)傳感器(qì)均采用(yòng)本公司(sī)自主研(yán)發♌的微(wei)🔱機電系(xì)統( MEMS )流量傳(chuan)感芯片(piàn)來制作(zuo)。
FS4001系列測(ce)量氣體(ti)流量傳(chuán)感器 适用(yong)于各類(lèi)清潔氣(qi)體。*的封(fēng)裝技術(shu)使之可(kě)用于各(gè)類🌐管徑(jing),成本低(dī)、易安裝(zhuāng)、不需要(yao)溫度壓(yā)力補償(cháng),可替代(dài)容積式(shi)或壓差(cha)式的傳(chuán)統流量(liàng)傳感器(qì)。
産品(pǐn)特點:
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傳感(gǎn)器靈敏(mǐn)度高
,
有極(jí)小的始(shǐ)動流量(liang)
-
傳(chuán)感器芯(xin)片采用(yong)熱質量(liang)流量計(ji)量
,
無需溫(wēn)度壓力(lì)補償
,
保證(zheng)了傳
-
感器(qì)的高精(jīng)度計量(liàng)
-
在(zài)單個芯(xīn)片上實(shí)現了多(duo)傳感器(qì)集成
,
使傳(chuan)感器的(de)量程比(bǐ)大大提(ti)高
-
傳感器(qi)的零點(diǎn)穩定度(du)高
-
全量程(chéng)高穩定(dìng)性
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全量程(chéng)高精确(què)度和優(yōu)良的重(zhong)複性
-
低功(gong)耗
-
低壓損(sun)
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響(xiang)應時間(jian)快
主要參(cān)數:
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性能(néng)參數 |
FS4001 |
單(dan)位 |
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通 徑(jìng) |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比(bi) |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重(zhong)複性 |
0.25 |
%讀(dú)數 |
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零點(diǎn)輸出飄(piao)移 |
±30 |
mV |
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輸出(chū)飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響(xiang)應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電(dian)源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chū)方式 |
線(xiàn)性,RS232/模拟(ni)電壓0.5~4.5Vdc |
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大(dà)流量壓(ya)損 |
350 |
300 |
pa |
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大工(gōng)作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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工作溫(wēn)度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲(chǔ)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工(gōng)作濕度(dù) |
<95%RH(無結冰(bing)、無凝露(lù)) |
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機械接(jie)口 |
可拆(chāi)式軟管(guan)接頭 |
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校(xiào)準方式(shi) |
空氣(或(huò)其他氣(qì)體),20oC,101.325kPa |
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重量(liàng) |
15 |
g |
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