mf4001廣東微(wei)小口徑氣體質量(liang)流量計是專門爲(wèi)各類小流量✌️氣體(ti)的測量和過程控(kong)制而設計的。這一(yī)系列傳感器均采(cǎi)用本公🥰司自主研(yán)發的微機電系統(tong)（MEMS）流量傳感⛱️芯片來(lai)制作，适用于各類(lèi)清潔氣體。*的封裝(zhuang)技術使之🥵可用于(yu)各類管徑，成本低(di)、易安裝、不需要🌍溫(wēn)度壓力補償，可替(ti)代容積式或壓差(cha)式的傳統流🥵量傳(chuan)感器。
mf4001廣東微小口徑氣(qi)體質量流量計
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傳感器靈敏度高(gao)
,
有極小的始(shi)動流量
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傳感(gan)器芯片采用熱質(zhì)量流量計量
,
無需溫度壓力補(bu)償
,
-
,
使傳感器的量(liang)程比大大提高
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傳感器的零點(dian)穩定度高
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全(quán)量程高穩定性
全量程高精确(que)度和優良的重複(fu)性
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低壓損
mf4001廣東微(wei)小口徑氣體質量(liàng)流量計 機械(xiè)尺寸：
主(zhǔ)要參數：
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性能參數(shu) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100：1 |
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±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複(fu)性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響(xiǎng)應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuan) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性，RS232/模(mo)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(yā)損 |
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pa |
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大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
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工作濕度 |
<95%RH（無結冰(bing)、無凝露） |
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機械接口(kou) |
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校準方式 |
空氣（或(huo)其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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