流量(liang)測量技(ji)術之 微小(xiao)流量 的測(ce)量     
半導體(tǐ)制造業(yè)、生物工(gong)程、精細(xì)化工等(deng)的興起(qǐ)，使流量(liàng)測量向(xiàng)低端延(yán)伸，小流(liu)量計流(liu)量的要(yào)求在上(shang)世紀 80 ∽ 90 年代凸(tū)顯起來(lai)。何謂小(xiǎo)流量 ? 業界(jie)尚無*的(de)定義和(he)界限，小(xiǎo)流量因(yin)應用領(ling)域而異(yì)🔆是一個(gè)模糊的(de)概念。管(guan)道小流(liu)量測量(liàng)體現于(yú)管徑小(xiao)和🧡流速(sù)低兩♉個(gè)層次，就(jiu)流程工(gong)業而言(yan)，習慣上(shàng) DN10 甚(shen)至 DN15 以下管(guan)徑流量(liang)測量稱(chēng)之小流(liu)量測量(liàng)，通常其(qí)流量值(zhí)液體爲(wei) 1L/min 或(huò) 0.06m3/h 以(yi)下，流量(liang)儀表滿(man)度流量(liàng)時的流(liú)速低于(yú) 0.1m/s 。
1 、測量(liang)方法
傳統(tong)小流量(liàng)測量技(jì)術節流(liú)差壓 ( 層流(liú) ) 法(fa)、浮子法(fǎ)和容積(ji)法等有(you)了的改(gǎi)進，新測(ce)量技術(shu)如超聲(shēng)法、熱法(fa)、科裏奧(ao)利法等(děng)也有成(cheng)效地應(yīng)于液體(tǐ)和氣體(ti)小流量(liang)測量。
2 、特點(dian)
微(wēi)小流量(liàng)與一般(ban)流量測(ce)量相比(bi)較，具有(you)以下特(tè)點。
1) 雷諾數(shu)低
一般管(guan)道流動(dong)均爲紊(wen)流流動(dòng)，流量儀(yi)表也是(shi)針對紊(wen)流流動(dòng)态設計(ji)的，而小(xiao)流量儀(yi)表因管(guan)徑小常(chang)處于層(céng)流流💜動(dòng) ( 例(li)如管内(nèi)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊(wen)流過渡(du)區流态(tài)流動，小(xiǎo)流量測(ce)量受使(shǐ)用中流(liu)體黏度(dù)變化影(ying)響頗大(da)。
2) 要(yào)用實際(ji)使用流(liú)體校準(zhǔn)
液(ye)體流量(liang)儀表一(yi)般用水(shuǐ)校準，氣(qi)體用空(kōng)氣校準(zhǔn)。若知道(dào)實際測(ce)量流體(ti)與校準(zhǔn)流體間(jian)某些物(wù)性不同(tóng)對示值(zhí)有規律(lǜ)變化時(shí)，中大管(guan)徑流量(liàng)儀表常(chang)以适⛱️當(dang)系數修(xiu)正。但有(yǒu)些小流(liú)量儀表(biǎo)受黏度(du)等流體(tǐ)物性影(yǐng)響大，須(xu)以實際(jì)使用流(liú)體校準(zhun)。所幸流(liu)量小，用(yòng)🏃‍♂️實際使(shǐ)用流體(ti)校準難(nán)度不大(da)，但在作(zuò)有害性(xing)流體校(xiao)準時應(ying)注‼️意安(an)全和環(huán)境污染(ran)。
3) 要(yào)求測量(liang)時防止(zhi)污染流(liú)體
若測量(liang)潔淨氣(qi)體和純(chún)水常不(bú)允許接(jiē)觸流體(ti)的儀表(biǎo)零件材(cái)料👄析出(chu)離子，例(lì)如半導(dǎo)體制備(bei)中儀表(biao)不能用(yòng)金屬和(hé)玻璃制(zhi)成，隻能(neng)用塑料(liào)。流體中(zhong)也不允(yun)♉許混入(rù)🐪活動件(jian)的磨蝕(shí)塵粒。流(liu)量儀表(biao)流通通(tōng)道要盡(jìn)可能簡(jian)單，不應(ying)有潴留(liú) ( 指(zhǐ)液體在(zài)體内不(bu)正常地(dì)聚集停(tíng)留 ) 部位，防(fang)止潴留(liu)介質變(biàn)質。
4) 氣泡和(hé)塵埃附(fù)着的影(yǐng)響
因管徑(jing)小黏性(xìng)增加，液(yè)體中微(wēi)細氣泡(pao)易在管(guǎn)系流動(dong)過程中(zhōng)積🐉聚變(biàn)大，使測(ce)量時指(zhǐ)示不穩(wen)，度下降(jiang)。流體中(zhong)塵埃㊙️附(fù)着測量(liàng)元件也(ye)要影響(xiang)測量值(zhí)，例如浮(fu)☀️子流量(liàng)計的浮(fú)💛子上沉(chén)積有肉(ròu)♊眼覺察(cha)♌不出的(de)附着層(ceng)也會影(yǐng)🐉響示值(zhi)。
5) 流(liu)量儀表(biao)品種使(shi)用上受(shou)到一定(ding)限制
在衆(zhong)多測量(liàng)原理流(liu)量儀表(biǎo)中，因各(ge)種原因(yīn)小流量(liang)應用⛷️受(shou)到一🏃‍♂️些(xiē)限制，當(dang)前能應(yīng)用于小(xiǎo)流量的(de)品種如(ru)表格所(suo)示